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芯片廠對空氣過濾器有什么要求?

芯片廠對空氣過濾器有什么要求?

當(dāng)今,半導(dǎo)體芯片廠對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度挑剔,對空氣過濾器的要求也苛

刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。

芯片廠用的高效過濾器和風(fēng)機過濾單元(FFU)出廠前要經(jīng)過掃描測試。芯片廠不認鈉焰法和DOP法的帳。

芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料,這種材料沒有揮發(fā)物,但它帶靜電,過濾后的空氣要進行電中和以消除離子,少了個隱患,多了個麻煩。

但當(dāng)芯片的線寬小到0.5um時,人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害,于是,后建的芯廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過濾器。

空氣過濾器有什么要求” />;

芯片廠說的化學(xué)過濾器就是活性炭過濾器,它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。

許多情況下,設(shè)計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,芯片廠用的化學(xué)過濾器應(yīng)具有兩個特點:廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。

如果能確定污染物種類,就可對吸附材料進行有針對性的化學(xué)處理,以增強對特定污染物的吸附能力。

過濾器供應(yīng)商有時還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù),以幫助用戶確定化學(xué)過濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過濾的專家,并與權(quán)威實驗室有密切的關(guān)系。

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過濾器部分客戶案例:貴州茅臺,旺旺集團,三九藥業(yè),京東方電子,三星電子等。

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